港大以新技術製作鑽石膜能應用於電子、光子等範疇

更新時間：16:16 2024-12-19
發佈時間：16:16 2024-12-19

鑽石又名金剛石，除了有觀賞價值，也是工程材料。由香港大學工程學院電機及電子工程學系副教授褚智勤與機械工程系教授林原，與南方科技大學及北京大學的研究團隊，成功開發突破性的方法，可大量製造超薄、超柔韌的鑽石膜。這些薄膜與現有的半導體製造技術兼容，原則上能製成各種電子、光子、機械、聲學和量子器件。

金剛石除了是珍貴的寶石，也是一種多功能的工程材料，在室溫下的熱傳導性能良好，同時兼具極高的載流子遷移率。團隊提出的邊緣暴露剝離法能夠快速生產大尺寸的獨立金剛石薄膜。對比昂貴、耗時且受尺寸限制的傳統技術，新技術可在10秒內生產出一個兩英寸的金剛石晶圓，提供了前所未有的效率和規模化。

這種技術能製作出表面超平坦的金剛石膜，這對高精度微納製造尤其重要。同時，平坦的金剛石膜的巨大柔性能為下一代可穿戴電子和光子設備提供了新的可能性。研究團隊預期可廣泛應用於電子、光子、機械、熱力、聲學，以至量子技術等領域。

褚智勤表示，希望能促進這些高質量金剛石膜在不同領域的應用，並將這項尖端技術商業化，從而推出優質的金剛石薄膜產品，為業界樹立新標準。

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